真空鍍膜設備
薄膜測量儀器
微納結構高速直寫光刻系統
微納激光三維光刻系統
場發射掃描電鏡(SEM)
高分辨顯微共焦拉曼光譜儀
X射線光電子能譜儀(XPS)
半導體器件分析儀
手動/半自動/全自動探針臺
真空相關組件/配件
耗材