真空鍍膜設(shè)備
薄膜測(cè)量?jī)x器
微納結(jié)構(gòu)高速直寫光刻系統(tǒng)
微納激光三維光刻系統(tǒng)
場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡(SEM)
高分辨顯微共焦拉曼光譜儀
X射線光電子能譜儀(XPS)
半導(dǎo)體器件分析儀
手動(dòng)/半自動(dòng)/全自動(dòng)探針臺(tái)
真空相關(guān)組件/配件
耗材